真空等离子清洗机是专门针对于工厂设计的批量处理装置,作为有针对的设计,突出移动方便,多种配置功能和高性能以及稳定性,广泛应用于等离子清洗和表面改性,去污, 增强粘接性等场合。通过其处理,能够改善材料的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂等 。
产品参数
外观参数 | ||
外形尺寸 | 1860mm长 X 1470mm宽 X 2000mm高 | |
重 量 | 2550Kg | |
安装面积 | 3500mm X 5500mm(含开门上下板位置) | |
电源系统 | ||
射频电源 | 功率:0~600W 频率:13.56MHz | |
中频电源 | 功率:0~1000W 频率:40KHz | |
真空系统 | ||
材质 | 铝合金(可定制不锈钢腔体) | |
密封性 | 军工级焊接密封 | |
工作托盘 | 标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网) | |
电极板布置方式 | 水平布置,可活动抽取 | |
真空管路 | 全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管 | |
电极分布 | 垂直分布,每片电极独立冷却 | |
托盘数量 | 16片 | |
气体系统 | ||
标准配置4路气体 | 一路2000sccms,三路5000sccms | |
真空泵组 | 抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h (可选) | |
真空工作力 | 进气氧气流量2.5-3.0L/min状态下,工作压力可控范围180-300mTorr | |
生产能力 | ||
生产板最大尺寸 | 25X44 inch (21*24 inch 30块/炉) | |
标准生产板厚度 | 0.1-9mm(0.5以下薄板需定制软板夹具) | |
生产板最小尺寸 | 4 X 4inch | |
控制系统 | ||
系统控制 | PLC | |
交互方式 | 智能触控屏幕 |
产品特点
真空等离子清洗机原理
利用高频发生器提供能量,将气体电离成等离子体。这些高度活跃的离子体对被处理物表面进行物理轰击,并发生化学反应。在物理和化学反应的双重作用下,实现分子级的污染物去除。从而达到表面清洗的目的,提高产品表面活性与附着力。
等离子清洗应用领域
等离子清洗作用
清 洗 去除材料表面物/颗粒/脏污物/氧化物、有机物,增加洁净度,提升亲水性、增强粘贴力;
活 化 将活性基团加入材料表面分子链中提高材料表面能,增加亲水性与活性;
改 性 保持材料或制品原性能的前提下,赋予其表面新的性能,如亲水性、生物相容性等;
除 胶 去除光刻胶、电路板去胶,除胶渣,提升材料表面的亲水性、附着力、粘接力;
刻 蚀 ICP硅刻蚀、CCP介质刻蚀、金属刻蚀,实现各向异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性;
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