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等离子清洗机工作时通常使用以下几种气体:1、惰性气体:如氦气、氮气、氩气等,作为等离子清洗机的主要工作介质,可以提供足够的能量和密度,产生等离子体。2、活性气体:如氧气、氢气等,通常与惰性气体混合使用,可以增加等离子体的活性,提高清洗效果。3、碳氟化合物:如CF4、C4F8等,通常用于等离子体刻蚀和清洗塑料、橡胶、金属等材料表面。4、氯氟化合物:如C2F6、C3F8等,通常用于等离子体刻蚀和清洗硅片、玻璃等材料表面。不同的等离子清洗机适用于不同的气体,需要根据实际需要进行选择。在选择等离子清洗机时,需要考虑材料表面的清洗要求、清洗剂的种类、清洗时间等因素,以选择最适合的等离子清洗机和气体。同时,需要注意气体的纯度和质量,以保证等离子清洗的效果和安全性。